產(chǎn)品型號

1500℃單溫區(qū)可傾斜旋轉(zhuǎn)管式爐 GSL-1500X-OTF-R60

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3 、氣： 如作為 CVD 系統(tǒng)使用，需自備氣源 （標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺： 尺寸 1200mm×600mm×700mm ，承重 300kg 以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點

1、雙層殼體，配有三個冷卻風(fēng)扇，殼體溫度<60℃。

2、采用高純氧化鋁纖維材料，具有的保溫性、節(jié)能性。

3 、內(nèi)爐膛表面涂有 1750℃進口氧化鋁涂層材料，有效地提高反射率及爐膛潔凈度。

4、采用上翻蓋開啟方式，操作更容易，且可快速冷卻。

5 、已通過 CE 認證。

技術(shù)參數(shù)

1 、電源： AC 220V    50Hz/60Hz    2.5KW（需要 20A 的空氣開關(guān)）

2、爐管： 外徑 Ø60mm ，內(nèi)徑 Ø54mm ，長 1200mm

3、爐管旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速： 0-7rpm

4、爐體傾斜角度： 0-30°

5、加熱元件：硅碳棒

6、加熱區(qū)域： 300mm

7 、恒溫區(qū)域： 150mm

8、工作溫度：  1500℃（<2h），連續(xù)工作 1400℃

9、控溫精度：± 1℃

10、產(chǎn)率： 2kg/爐

11、真空度： 4.5×10-2tor

12、泄漏率： <0.1mtorr/s

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 1300mm×600mm×1200mm；重量： 100kg

可選配件

1 、PC 控制軟件

2、剛玉管

3、石英管