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描述:產(chǎn)品簡(jiǎn)介:多路質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)是用于控制一種到多種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐
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190產(chǎn)品簡(jiǎn)介: 多路質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)是用于控制一種到多種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐, 這種氣體控制系 統(tǒng)安裝在移動(dòng)架內(nèi), 管式爐可以放在移動(dòng)架上面, 氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié) 閥,可以用于 CVD 系統(tǒng)及退火爐,用來研究氣體環(huán)境對(duì)材料的影響,在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料 學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用, 廣泛應(yīng)用于 電子工藝設(shè)備, 如擴(kuò)散、氧化、外延、 CVD、等離子濺射以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、混氣配氣系統(tǒng)及其它 分析儀器。
產(chǎn)品型號(hào) | 混氣系統(tǒng) 2 路質(zhì)子 GSL-2Z 、混氣系統(tǒng) 3 路質(zhì)子 GSL-3Z 、混氣系統(tǒng) 4 路質(zhì)子 GSL-4Z |
主要特點(diǎn) | 精度高,運(yùn)行穩(wěn)定可靠,工作壓力范圍寬,可在高壓或真空條件下工作,且操作使用方便。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源: 185-245V 50Hz 2、輸出功率: 18W 3、控制范圍: GSL-2Z 控制器 1——1-199SCCM 、控制器 2——1-499SCCM GSL-3Z 控 制 器 1——0-100SCCM 、 控 制 器 2——1-199SCCM 、 控 制 器 3——1-499SCCM |
GSL-4Z 控 制 器 1——0-100SCCM 、 控 制 器 2——1-199SCCM 、 控 制 器 3——1-199SCCM 、控制器 4——1-499SCCM 4、壓力: 3×106 Pa 5、準(zhǔn)確度:± 1%FS 6、線性:±0.5-1.5% 7、重復(fù)精度:±0.2%FS 8、響應(yīng)時(shí)間: 氣特性 1-4s ,電特性 10s 針閥: 316 不銹鋼 9、工作壓差范圍: 0.1-0.5 MPa |
10、壓力表測(cè)量范圍: -0.1-0.15MPa(0.01 MPa/grid) | |
11、混氣罐: ?80mm×120mm | |
12、截止閥: ?1/4″ ,316 不銹鋼針閥 | |
13、工作溫度: 5-45℃ | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸: 600mm×600mm×650mm |
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