產(chǎn)品型號(hào)

1200℃單溫區(qū)開啟式真空管式爐OTF-1200X

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下，溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3 、氣：如作為CVD 系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺(tái)：尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 100kg 以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、雙層殼體，配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體溫度<60℃。

2 、內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，同時(shí)延長(zhǎng)使用壽命。

3 、采用 PID 控制器，可以設(shè)置 30 段升降溫程序。

4、設(shè)有超溫及斷偶報(bào)警功能。

5 、已通過 CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1 、電源： AC 220V    50Hz/60Hz    2.5KW

2、石英管： 外徑 Ø50mm ，內(nèi)徑 Ø44mm ，長(zhǎng) 1000mm

外徑 Ø60mm ，內(nèi)徑 Ø54mm ，長(zhǎng) 1000mm

外徑 Ø80mm ，內(nèi)徑 Ø74mm ，長(zhǎng) 1000mm

            外徑 Ø100mm ，內(nèi)徑 Ø94mm ，長(zhǎng) 1000mm

3、加熱元件： 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯

4、加熱區(qū)域： 440mm

5、恒溫區(qū)域： 150mm

6 、工作溫度：  1200℃（必須通入惰性氣體以防止?fàn)t管發(fā)生形變） ，連續(xù)工作 1100℃

7、升降溫速率： 20℃/min

8、控溫精度：± 1℃

9、真空度： 10-2torr （機(jī)械泵）， 10-5torr  （分子泵）

10、泄漏率： <5mtorr/min

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 590mm×380mm×520mm；重量： 40kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

石英管

1 根

2

不銹鋼真空法蘭

1 套

可選配件

1、鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm

2、數(shù)字真空計(jì)

3 、PC 控制軟件