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描述:產(chǎn)品簡介:TFMS-LD是一款反射光譜薄膜測厚儀,可快速精確地測量透明或半透明薄膜的厚度,其測量膜厚范圍為15nm-50um,儀器所發(fā)出測試光的波長范圍為400nm-1100nm
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216產(chǎn)品簡介:TFMS-LD 是一款反射光譜薄膜測厚儀,可快速精確地測量透明或半透明薄膜的厚度,其測量膜
厚范圍為15nm-50um,儀器所發(fā)出測試光的波長范圍為400nm-1100nm。此款測試系統(tǒng)理論基礎(chǔ)為鏡面反
纖反射探頭。儀器尺寸小巧,方便于在實(shí)驗(yàn)室中擺放和使用。
產(chǎn)品型號(hào) | TFMS-LD 反射光譜薄膜測厚儀 |
測量膜厚范圍 | 15nm-50um |
光譜波長 | 400 nm - 1100 nm |
主要測量透明 或半透明薄膜 厚度 | 氧化物 氮化物 光刻膠 半導(dǎo)體(硅,單晶硅,多晶硅等) 半導(dǎo)體化合物(ALGaAs,InGaAs,CdTe,CIGS 等) 硬涂層(碳化硅,類金剛石炭) 聚合物涂層(聚對(duì)二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺) 金屬膜
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特點(diǎn) | 測量和數(shù)據(jù)分析同時(shí)進(jìn)行,可測量單層膜,多層膜,無基底和非均勻膜 |
| 包含了 500 多種材料的光學(xué)常數(shù),新材料參數(shù)也可很容易地添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA 等 體積較小,方便擺放和操作 可測量薄膜厚度,材料光學(xué)常數(shù)和表面粗糙度 使用電腦操作,界面中點(diǎn)擊,即可進(jìn)行測量和分析 |
精度 | 0.01nm 或 0.01% |
準(zhǔn)確度 | 0.2%或 1nm |
穩(wěn)定性 | 0.02nm 或 0.02% |
光斑尺寸 | 標(biāo)準(zhǔn) 3mm,可以小至 3um |
要求樣品大小 | 大于 1mm |
分光儀/檢測器 | 400 - 1100 nm 波長范圍 光譜分辨率: < 1 nm 電源 100 -250 VAC, 50/60 Hz 20W |
光源 | 5W 的鎢鹵素?zé)?/span> 色溫: 2800K 使用壽命:1000 小時(shí) |
反射探針 | 光學(xué)纖維探針, 400um 纖維芯 配有分光儀和光源支架 |
載樣臺(tái) | 測量時(shí)用于放置測量的樣品 |
通訊接口 | USB 接口,方便與電腦對(duì)接 |
TFCompanion 軟件 | 強(qiáng)大的數(shù)據(jù)庫包含兩 500 多種材料的光學(xué)常數(shù)(n:折射率, K:消失系數(shù)) |
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誤差分析和模擬系統(tǒng),保證在不同環(huán)境下對(duì)樣品測量的準(zhǔn)確性 可分析簡單和復(fù)雜的膜系 |
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設(shè)備尺寸 | 200x250x100mm |
重量 | 4.5kg |
我們相信好的產(chǎn)品是信譽(yù)的保證!
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