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描述:產(chǎn)品簡(jiǎn)介:SE-VM是一款高精度快速測(cè)量光譜橢偏儀
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介: SE-VM是一款高精度快速測(cè)量光譜橢偏儀。可通過(guò)橢偏參數(shù)、透射/反射率等參數(shù)的測(cè)量,快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)參數(shù)薄膜和納米結(jié)構(gòu)的表征分析,適用于薄膜材料的快速測(cè)量表征。支持多角度,微光斑,可視 化調(diào)平系統(tǒng)等高兼容性靈活配置,多功能模塊定制化設(shè)計(jì)。
高精度橢偏測(cè)量解決方案;超高精度、快速無(wú)損測(cè)量;支持多角度、微光斑、可視化調(diào)平系統(tǒng)功能模塊靈活定制;豐富的數(shù)據(jù)庫(kù)和幾何結(jié)構(gòu)模型庫(kù),保證強(qiáng)大數(shù)據(jù)分析能力。廣泛應(yīng)用于鍍膜工藝控制、tooling 校正等測(cè)量應(yīng)用,實(shí)現(xiàn)光學(xué)薄膜、納米結(jié)構(gòu)的光學(xué)常數(shù)和幾何特征尺寸快速的表征分析。
產(chǎn)品型號(hào) | SE-VM 光譜橢偏儀 |
主要特點(diǎn) | 1、采用高性能進(jìn)口復(fù)合光源,光譜覆蓋可見(jiàn)到近紅外范圍(380-1000nm)
2、高精度旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制、 PCRSA 配置, 實(shí)現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集 |
| 3、支持系列配置靈活,可根據(jù)不同應(yīng)用場(chǎng)景支持多功能模塊化定制 |
| 4、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫(kù)、多種算法模型庫(kù),涵蓋了目前絕大部分的光電材料 |
技術(shù)參數(shù) | 1、自動(dòng)化程度:手動(dòng)變角
2、應(yīng)用定位:通用型 |
| 3、基本功能: Psi/Delta、N/C/S、R/T 等光譜 | |
| 4、分析光譜 380-1000nm(可擴(kuò)至210-1650nm)
5、單次測(cè)量時(shí)間: 0.5-5s
6、重復(fù)性測(cè)量精度: 0.01nm | |
| 7、光斑大小: 大光斑 2-3mm,微光斑 200 μm | |
| 8、入射角調(diào)節(jié)方式:手動(dòng)變角
9、入射角范圍: 55-75°(5°步進(jìn)),90°
10、找焦方式:手動(dòng)找焦 | |
| 11、Mapping 行程:不支持 | |
| 12、支持樣件尺寸: 至 180mm | |
可選配件 | 1 | 溫控臺(tái) |
2 | Mapping 擴(kuò)展模塊 | |
3 | 真空泵 | |
4 | 透射吸附組件 |
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