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描述:SE-i光譜橢偏儀產(chǎn)品簡(jiǎn)介:光譜橢偏儀SE-Vi是一款集成式原位光譜橢偏儀,針對(duì)有機(jī)/無(wú)機(jī)鍍膜工藝研究的需要開(kāi)發(fā)的原位薄膜在線(xiàn)監(jiān)測(cè)中的定制化開(kāi)發(fā),快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析
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260SE-i 光譜橢偏儀
產(chǎn)品簡(jiǎn)介: 光譜橢偏儀 SE-Vi 是一款集成式原位光譜橢偏儀,針對(duì)有機(jī)/無(wú)機(jī)鍍膜工藝研究 的需要開(kāi)發(fā)的原位薄膜在線(xiàn)監(jiān)測(cè)中的定制化開(kāi)發(fā),快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析。光譜橢 偏儀廣泛應(yīng)用于金屬薄膜、有機(jī)薄膜、無(wú)機(jī)薄膜的物理/化學(xué)氣相沉積, ALD 沉積等光學(xué)薄 膜工藝過(guò)程中實(shí)際原位在線(xiàn)監(jiān)測(cè)并實(shí)時(shí)反饋測(cè)量物性數(shù)據(jù)。
產(chǎn)品型號(hào) | SE-i 光譜橢偏儀 |
技術(shù)參數(shù) | 1、自動(dòng)化程度:固定變角 2、應(yīng)用定位:原位定制型 3、基本功能: Psi/Delta、N/C/S 等光譜 4、分析光譜: 380-1000nm,支持按需定制化 5、單次測(cè)量時(shí)間: 0.5-5s 6、重復(fù)性測(cè)量精度: 0.01nm 7、入射角范圍: 65°(支持定制) |
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