您好,歡迎進(jìn)入北京鴻瑞正達(dá)科技有限公司網(wǎng)站!
描述:產(chǎn)品簡介:OTF-1200X-RTP-II近距離蒸發(fā)鍍膜(CSS)爐是一款快速蒸發(fā)管式爐,專門用于PVD或CSS法制作薄膜
廠商性質(zhì)
經(jīng)銷商更新時間
2024-03-07訪問量
205產(chǎn)品簡介: OTF-1200X-RTP-II 近距離蒸發(fā)鍍膜(CSS)爐是一款快速蒸發(fā)管式爐, 專門用于 PVD 或 CSS 法制作薄膜; 其爐管外徑為 11″ ,爐管內(nèi)載樣盤可放置 3″ 的圓形或 2″×2″的方形基片; OTF-1200X-RTP-II 近距離蒸發(fā)鍍膜( CSS )爐加熱元件為兩組紅外燈管, 分別安裝在腔體頂端和底部, 升溫速率高達(dá) 20℃/s ,可迅速使?fàn)t腔內(nèi)溫度升高; 冷卻速率: >10℃/s ,可在鍍膜后使樣品快速降溫; 溫控系統(tǒng)采用 PID30 段程序化控制, 控溫精度為±1℃, 并且儀器面板上帶有 RS485 接口, 若儀表內(nèi)配有控溫軟件, 就可將升 溫程序和曲線導(dǎo)出。
產(chǎn)品名稱 | OTF-1200X-RTP-II 近距離蒸發(fā)鍍膜(CSS)爐 |
產(chǎn)品型號 | OTF-1200X-RTP-II |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25℃±15℃ ,濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水:設(shè)備需選配自循環(huán)冷卻水機(jī)(加注純凈水或者去離子水) 2、電: AC220V 50Hz(20A 空氣開關(guān)),必須有良好接地 3 、氣: 設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度 99.99%以上) ,需自備氬氣氣瓶(自帶 ?6mm 雙卡套接 頭) 4、工作臺:設(shè)備為落地式, 占地面積 1m2 以上 5、通風(fēng)裝置:需要 |
主要特點 | 1、為了減小熱輻射和達(dá)到快速冷卻的效果,加熱元件被嵌在水冷機(jī)構(gòu)上。 |
2 、緊貼頂部加熱元件上裝有一氮化鋁基片(?76mm×0.5mm),使得樣品基片上的溫度更加 |
均勻。 3 、3″的石墨坩堝可放于底部加熱元件上,用于盛放蒸發(fā)料。 4 、真空法蘭通過兩個硅膠 O 型圈進(jìn)行密封,通過機(jī)械泵其腔內(nèi)真空度可達(dá) 10-2torr ,通過分子 泵真空度可達(dá) 10-5torr。 5、兩個真空法蘭都可以通過手動操作進(jìn)行上下移動。 6、一個數(shù)字式真空顯示計安裝在法蘭頂部,可以精 確測量腔內(nèi)真空度。 | |
技術(shù)參數(shù) | 1 、電源: 單相 AC208V-240V (需 20A 的空氣開關(guān)) 2、真空腔體:高純石英管, 外徑 280mm ,內(nèi)徑 275mm ,高 229mm |
3、加熱元件: 兩組 IR 紅外燈管, 額定功率 800W ,總功率 1600W 4、熱電偶: S 型熱電偶 2 個,分別安裝于上下法蘭上 5、工作溫度:兩個加熱區(qū)域單獨工作的極限溫度≤650℃,兩加熱區(qū)域極限溫差≤350℃ 6、加熱速率: >8℃/s 7、冷卻速率: >10℃/s(600℃-100℃) 8、真空法蘭: 316 不銹鋼制作, 配有 1 個 KF-25 接口、 2 個 1/4″軟管接頭 9、真空計:數(shù)字式真空顯示計 | |
可選配件 | 1 、PC 控溫軟件 2、兩路混氣系統(tǒng) |
3、多路浮子混氣系統(tǒng) 4、多路質(zhì)子混氣系統(tǒng) 5、真空泵 6、水冷機(jī) |
我們相信好的產(chǎn)品是信譽的保證!
致力于成為更好的解決方案供應(yīng)商!