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描述:VTC-200-4P噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機、勻膠機、顯影機、甩膠機、旋涂儀、spincoater主要用于半導(dǎo)體工藝、制版工藝過程中圖形的顯影及表面涂覆工藝,是一款上蓋可以加熱的勻膠機、顯影機,在勻膠或顯影過程結(jié)束后使用加熱功能使膠體薄膜中的溶劑繼續(xù)蒸發(fā)到含量。
廠商性質(zhì)
經(jīng)銷商更新時間
2024-04-15訪問量
336品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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VTC-200-4P噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機產(chǎn)品簡介:
VTC-200-4P紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂膜機、勻膠機、顯影機、甩膠機、旋涂儀、spin coater主要用于半導(dǎo)體工藝、制版工藝過程中圖形的顯影及表面涂覆工藝,是一款上蓋可以加熱的勻膠機、顯影機,在勻膠或顯影過程結(jié)束后使用加熱功能使膠體薄膜中的溶劑繼續(xù)蒸發(fā)到含量。工作過程中顯影液或膠體以霧狀噴到樣片上,使溶液在樣片表面均勻分布,有利于薄膜和顯影過程的順利進(jìn)行。本機電機部分、溫度控制部分、注液部分分別使用獨立電源進(jìn)行控制,電機調(diào)速系統(tǒng)則采用了抗干擾性高的PLC進(jìn)行控制,轉(zhuǎn)數(shù)在100-2000RPM范圍內(nèi)可調(diào)。涂膜機在工作時設(shè)有兩個階段,在啟動前根據(jù)實際需要進(jìn)行設(shè)置。VTC-200-4P紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機、勻膠機、甩膠機、旋涂儀、顯影機、spincoater啟動快速、轉(zhuǎn)數(shù)穩(wěn)定,可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。對于樣件的固定,采用橡膠吸盤和磁力鋼片模板,不僅樣件取放自如,而且操作簡便。此外,在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減震措施,降低運轉(zhuǎn)時的噪音。
產(chǎn)品型號 | VTC-200-4P 紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機、勻膠機、顯影機、甩膠機、旋涂儀 spin coater |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:設(shè)備配有進(jìn)出水口。 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地。 3、氣:不需要。 4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kgs以上。 5、通風(fēng)裝置:需要。 |
VTC-200-4P噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機主要特點 | 1、采用橡膠吸盤和磁力鋼片模板固定樣件,不僅樣件取放自如,而且操作簡便;橡膠吸盤和磁力鋼片模板大小可根據(jù)需要進(jìn)行定制。 2、該機上蓋具有紅外加熱功能,可以使溫度保持在一個穩(wěn)定值。 3、本機上蓋具有4組噴嘴,可使膠體以霧狀噴在樣片表面,使薄膜更均勻。 4、電機部分、溫度控制部分、注液部分分別使用獨立電源的方式,電機調(diào)速系統(tǒng)則采用了抗干擾性高的PLC進(jìn)行控制,數(shù)值顯示更直觀可靠,轉(zhuǎn)數(shù)在100-2000RPM內(nèi)可調(diào)。 5、涂膜機在工作時設(shè)有兩個階段,在啟動前根據(jù)實際需要,可分別進(jìn)行時間1、轉(zhuǎn)速1、時間2、轉(zhuǎn)速2的設(shè)置。設(shè)置完成啟動后,涂膜機先以轉(zhuǎn)速1在時間1時間內(nèi)運轉(zhuǎn),使涂膜物質(zhì)逐漸分散開。當(dāng)時間1時間結(jié)束時,涂膜機自動進(jìn)入時間2時間階段運轉(zhuǎn),使涂膜物質(zhì)更加均勻。 6、噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機啟動快速、轉(zhuǎn)數(shù)穩(wěn)定,可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。 7、在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減震措施,降低運轉(zhuǎn)時的噪音。 8、腔體采用聚丙烯材質(zhì),使用壽命更長,提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能;機身采用鑄鋁結(jié)構(gòu),結(jié)實耐用且質(zhì)輕。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源:AC220/110V、50/60Hz 2、電機功率:功率210W 3、雙轉(zhuǎn)速涂膜功能:雙轉(zhuǎn)速及涂膜時間分別設(shè)置,在啟動后先低速運轉(zhuǎn)(滴涂膠液),然后自動轉(zhuǎn)換到高速運轉(zhuǎn)(勻膠)。轉(zhuǎn)速穩(wěn)定(±1%),涂膜物質(zhì)均勻。 轉(zhuǎn)數(shù)1:100-2000 RPM有效 時間1:1--200s有效 轉(zhuǎn)數(shù)2:100-2000 RPM有效 時間2:1--200s有效 4、適用于Φ153mm樣件涂膜。 5、上蓋加熱溫度范圍:0-100℃。 6、環(huán)境溫度5-40℃,相對濕度不大于85%RH,設(shè)備周圍無強烈震源和腐蝕氣體影響。 |
規(guī)格尺寸 | 主機外形尺寸 500mm (長) ×410mm (寬) ×330mm (高), 重量 24Kg。 |
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 磁性鋼片模板(Ф160mm) | 1 件 |
2 | 吸盤(Ф153mm) | 1 件 | |
3 | 溫控箱 | 1 臺 | |
4 | 蠕動泵 | 6 臺 | |
可選配件 | 橡膠吸盤 |
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