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型號:

VTC-200P真空旋轉(zhuǎn)涂膜機

描述:產(chǎn)品簡介:VTC-200P真空旋轉(zhuǎn)涂膜機適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝

  • 廠商性質(zhì)

    經(jīng)銷商
  • 更新時間

    2024-03-07
  • 訪問量

    221
詳細(xì)介紹

img1

產(chǎn)品簡介: VTC-200P 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。 本機可用于強 酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。 VTC-200P 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機腔體不可抽真空, 工作時利用真空盤吸附的 方式將樣品固定在載樣盤上,該設(shè)備可儲存 12 組程序,每組程序包含 6 個運行階段。不同運行階段設(shè)備轉(zhuǎn) 數(shù)不同, 使設(shè)備緩慢提升速度限速度, 有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜, 且不會過多浪費, 節(jié)約 材料。 腔室的上蓋可以對樣品進行加熱(可選功能 ,有利于粘稠度大的薄膜材料的涂覆過程的進行。 VTC-200P 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機具有操作簡單、清理方便,體積小巧等優(yōu)點,主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所 的實驗室中進行薄膜的生成過程。




產(chǎn)品名稱

VTC-200P 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機

產(chǎn)品型號

VTC-200P

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25℃±15℃ ,濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。


1、水:設(shè)備配有進出水口


2、電: AC220V 50Hz,必須有良好接地


3、氣:不需要


4、工作臺: 尺寸 600mm×600mm×700mm ,承重 50kg 以上


5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點

6 個運行階段, 每段增減速率設(shè)置范圍img2100—2000rpm/s,每段

1 、設(shè)有 12 組程序, 每組包含

時間范圍: 0—60s





2、真空吸附方式固定樣件,操作簡便。


3、吸盤真空度可以達到-0.08MPa。


4、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動或飛片。


5、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。


6 、電機采用 24V 直流無刷電機,無級調(diào)速,可靠性高,適應(yīng)性強,維修與保養(yǎng)簡單,噪音低, 震動小,運轉(zhuǎn)平穩(wěn),啟動快速穩(wěn)定,加速后運行平穩(wěn),可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。


7、本機可置于手套箱內(nèi)使用,但控制部分與真空泵需置于箱外。


8 、可在惰性氣體氣氛(如 Ar 、N2 )下進行涂層。


9、采用無油雙杠真空泵,體積小巧、結(jié)構(gòu)簡單、操作容易、維護方便、不會污染環(huán)境等優(yōu)點。


10、腔體通體采用聚丙烯材質(zhì),使用壽命更長,提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能。


11、全英文操作系統(tǒng)。


12、具有開蓋保護功能,當(dāng)涂膜過程中或涂膜結(jié)束時打開上蓋后機器立刻迅速減速直到停止


13、控制器采用單控制箱,液晶顯示數(shù)值,更直觀可靠。


img3

技術(shù)參數(shù)

1、電源: 220V      50HZ


2、電機功率: 350W/24V


3、轉(zhuǎn)速: 500rpm-6000rpm 之間可調(diào)


4.可儲存 12 組程序, 每組程序包含 6 個運行階段,

5、每段增減速率設(shè)置范圍: 100 rpm s2000 rpm /s,每段時間范圍: 0-60s


6、吸盤規(guī)格φ 100mm


7、本機可選配加熱功能: 加溫范圍 RT-99%





加熱蓋,水槽及吸盤采用聚丙烯材質(zhì)

溫度單獨控制,與主機程序控制無關(guān)聯(lián)

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:φ250mm×360mm;重量: 20kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

φ100mm 真空吸盤


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1 

2

O 型膠圈

1 



3

滴液器


img5



1 

4

滴液器支架

1 


中心定位器




5

img6


1 



6

無油真空泵


img7



1 

可選配件

進口移液器

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國產(chǎn)移液槍


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其它尺寸的真空吸盤


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