產(chǎn)品型號

2000℃溫度可控型 30KW 感應(yīng)加熱爐 SP-85KTC

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機（加注純凈水或者去離子水）

2、電： AC380V 50Hz（63A 空氣開關(guān)），必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度 99.99%以上） ，需自備氬氣氣瓶（自帶 6mm 雙卡套接頭）

4、工作臺： 尺寸 1500mm×600mm×700mm ，承重 200kg 以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點

1 、采用多塊氧化鋁制作的耐火材料，用于支撐石墨坩堝，并防止熱量輻射。

2、設(shè)有自動水壓、過熱、功率過高保護系統(tǒng)。

3 、溫控器采用 PID 方式控溫， 可設(shè)置 30 段升降溫程序，設(shè)有過熱和斷偶保護功能。

4、配有防腐型真空計， 當(dāng)氣壓在 10mbar 以上時，不需因測量氣體種類的不同進行系數(shù)轉(zhuǎn)換， 量程可到 3.8×10E-5torr。

5 、迷你型浮子流量計精度為 4%。

6、配有雙級旋片機械泵（2L/s）， 可使石英管內(nèi)真空度達(dá)到 10E-2torr。

技術(shù)參數(shù)

感應(yīng)加熱器

1、工作電壓： 三相 AC 380V 50Hz（需 60A 空氣開關(guān)）

2、工作電流： 7Amps-70Amps（需 100A 空氣開關(guān)）

3、功率： 振蕩功率 30KW ，輸入功率 15KW

4、輸出頻率： 30KHz-110KHz

5、占空比： 80%

6、感應(yīng)線圈： 內(nèi)徑 Ø220 mm ，高 65 mm

7、空氣冷卻：后風(fēng)扇

溫度控制器及熱電偶

1、工作電壓： AC208V-240V    單相

2、控溫精度：±3℃

3、熱電偶： C 型， 外徑 Ø1/4" ，長 10"

4、連續(xù)工作溫度范圍： 1000℃-2000℃

5、升溫速率： 4℃/s（ 1000℃-1200℃） 、3℃/s（ 1200℃-1500℃） 、1℃/s-2℃/s（ 1500℃-2000 ℃）

石墨坩堝（易耗件）

1、高純石墨坩堝： 外徑 Ø114mm ，內(nèi)徑 Ø100mm ，高 142mm

2、容量： 樣品所占容積應(yīng)為石墨坩堝容積的 1/2 ，質(zhì)量為 4kg  （以鐵標(biāo)定）

3、保溫層：石墨坩堝外環(huán)繞三層隔熱材料， 從內(nèi)至外分別為石墨氈（可耐溫 2200℃） -氧化 鋁（可耐溫 1700℃） -高溫氈， 總厚度為 32mm

石英管和密封法蘭

1、石英管：兩端開口， 外徑 Ø216mm ，內(nèi)徑 Ø208mm ，長 500mm

2、頂部法蘭：采用不銹鋼折疊式法蘭， 裝有防腐型真空計、不銹鋼截止閥， 設(shè)有 1 個 1/4"的 鎧裝接口（可插入熱電偶至石英管內(nèi)部，更準(zhǔn)確地測量樣品溫度）

3、底部法蘭： 設(shè)有 KF25 接口，可通過波紋管與真空泵相連接

水冷機

1、溫度： 5℃-30℃

2、水流速： >16L/min

3、水箱容積： 12L，采用不銹鋼制作

4、水壓：≥0.1MPa

5、流量：≥5L/min

建議使用特定的冷卻劑液以達(dá)到的冷卻效果）

真空泵

工作電壓： AC208V-240V 單相

移動爐架

尺寸： 700mm×1000mm×700mm，鋼框架結(jié)構(gòu)，方便移動感應(yīng)加熱器和帶法蘭的石英管

產(chǎn)品規(guī)格

注意事項

其他事項

本機可改為 RTP  （快速熱處理爐） 和混合物物理化學(xué)氣相沉積（HPCVD）系統(tǒng)。請參看下圖。