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描述:產(chǎn)品簡(jiǎn)介:VTC-16-3HD3靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀(直流普通型),控制面板采用觸摸屏模式,基片極限尺寸為2″,放置樣品的直徑為?50mm,加熱溫度達(dá)500℃
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196產(chǎn)品簡(jiǎn)介: VTC-16-3HD 3 靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀(直流普通型) ,控制面板采 用觸摸屏模式, 基片極限尺寸為 2″ ,放置樣品的直徑為 ?50mm ,加熱溫度達(dá) 500℃。 VTC-16-3HD 3 靶等 離子濺射儀可濺射金、銀、銅三種靶材, 不可以濺射輕金屬和碳。本機(jī)采用旋轉(zhuǎn)式樣品臺(tái), 能夠依次在同 一樣品上涂覆三層薄膜, 適用于實(shí)驗(yàn)室制備復(fù)膜的樣品。 VTC-16-3HD 3 靶等離子濺射儀采用 PLC 控制面 板對(duì)設(shè)備進(jìn)行控制, 操作方便直觀(guān)。該機(jī)設(shè)備小巧, 占用實(shí)驗(yàn)室空間少, 操作簡(jiǎn)單, 應(yīng)用廣泛。因此被廣 泛應(yīng)用于各大高校及科研院所的實(shí)驗(yàn)室中。
產(chǎn)品名稱(chēng) | VTC-16-3HD 3 靶等離子濺射儀 |
產(chǎn)品型號(hào) | VTC-16-3HD 3 |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25℃±15℃, 濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水:不需要 2、電: AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度 99.99%以上)清洗,需自備氬氣氣瓶 4、工作臺(tái): 尺寸 600mm×600mm×700mm ,承重 50kg 以上 5、通風(fēng)裝置:需要 |
主要特點(diǎn) | 1 、PLC 控制面板, 4.3″觸摸屏, PID 控溫方式。 2、可控參數(shù)包括真空度、電流、靶材位置、基片加熱溫度。 |
3、可與真空泵、 不銹鋼波紋管 KFD25 快速卸裝卡箍連用。 4 、已通過(guò) CE 認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、輸入功率: 110V/220V 通用 2000W (含真空泵) 2、輸出功率: 1600VDC 50mA(max 電流) |
3、石英罩: ?160mm×120mm 4、樣品臺(tái): ?50mm (可選購(gòu)加熱型樣品臺(tái),極限溫度可到500℃; 極限濺射時(shí)間不可超過(guò)5min) 5、真空泵: 120L/M 旋片式真空泵 6、進(jìn)氣口:裝有精密可調(diào)針閥,以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量 7、靶材:尺寸直徑 ?47mm ,厚度 0.5mm-3mm;可濺射 Au 、Ag 、Pt 、Cr 、Ni,不可濺射氧 化物、半導(dǎo)體、一些輕金屬、 Al 、Zn 、C 等 | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸: 360mm ×350mm×3600mm;重量: 50kg |
可選配件 | 1 、KF25 真空接口、卡箍 2、不銹鋼波紋管(600mm) 3、旋片式真空泵( 120L/M) 4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材 5、加熱型樣品臺(tái) |
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