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型號(hào):

小型粉末PVD包覆系統(tǒng)(DC磁控濺射-振動(dòng)樣品臺(tái))VTC-16PW

描述:產(chǎn)品詳細(xì)介紹:小型粉末PVD包覆系統(tǒng)VTC-16PW是一款小型粉末包覆系統(tǒng),主要有2英寸磁控濺射頭和振動(dòng)樣品臺(tái)組成

  • 廠商性質(zhì)

    經(jīng)銷(xiāo)商
  • 更新時(shí)間

    2024-03-07
  • 訪問(wèn)量

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詳細(xì)介紹




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產(chǎn)品詳細(xì)介紹:   小型粉末 PVD 包覆系統(tǒng) VTC-16PW 是一款小型粉末包覆系統(tǒng),主要有 2 英寸磁控濺射頭 和振動(dòng)樣品臺(tái)組成。粉末在振動(dòng)樣品臺(tái)上振動(dòng)翻滾,通過(guò)濺射在粉末表面進(jìn)行包覆形成核殼結(jié)構(gòu)。直流磁 控濺射適合粉體表面包覆金屬材料.射頻磁控濺射適合材料表面包覆非金屬材料或碳。




產(chǎn)品型號(hào)

小型粉末 PVD 包覆系統(tǒng) VTC-16PW

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、可對(duì)粉體材料進(jìn)行表面包覆:采用磁控濺射,濺射時(shí)粉體材料在振動(dòng)樣品臺(tái)上翻滾, 達(dá)到粉體表面均勻包覆


2、設(shè)備小巧可在手套箱內(nèi)使用,可處理樣敏感性材料

技術(shù)參數(shù)

1、輸入電壓:  220 VAC 50/60Hz

2、電源輸出:1600 VDC 250 W

3、電流:  150 mA .

4、濺射頭:  2 英寸角度可調(diào)節(jié)濺射頭

5、振動(dòng)樣品臺(tái):

樣品臺(tái)振動(dòng)頻率可調(diào)節(jié):  6-33Hz

樣品臺(tái)直徑為 50mm

建議樣品量: < 500 mg

建議顆粒尺寸: 1 ~ 1000um

石英腔體尺寸:  165 mm OD. X 150 mm ID x 250 mm H

6、真空度:

①1.0E-2 Torr (采用機(jī)械泵),  可濺射 Au, Ag, Pt, Cu, Mo 等靶

  1.0E-5 Torr  (采用分子泵 , 可濺射 Al, Mg, Li, Lr, Ti, Zn 等易氧化金屬靶真空 度可達(dá)到< 4.0E-6 Torr(分子泵系統(tǒng)抽時(shí)間 12 小時(shí),腔體進(jìn)行烘烤)

7、  CE 認(rèn)證




產(chǎn)品規(guī)格

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注意事項(xiàng)

警告:

1、濺射頭與高壓電源相連接,操作時(shí)必須佩帶防護(hù)手套                                             2、濺射前必須確保靶材,濺射頭,基片和樣品臺(tái)清潔,需要用砂紙和乙醇來(lái)清洗,  Al 或是 Ni 靶每次使用時(shí)都必須清洗和處理

注意:粉末樣品必須干燥和分散


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