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描述:產(chǎn)品簡介:PCE-6V小型等離子清洗機集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計算機控制技術(shù)、軟件編程技術(shù),采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染
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2024-03-12訪問量
193產(chǎn)品簡介: PCE-6V 小型等離子清洗機集成了 RF 等離子體發(fā)生技術(shù)、計算機控制技術(shù)、軟件編程技術(shù),采 用氣體作為清洗介質(zhì), 有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵, 清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面, 可短時間內(nèi)清洗掉有機污染物, 清洗程度可達到分子 級。另外, 其樣品臺可選配加熱功能, 可加負偏壓, 用以實現(xiàn)離子蝕刻。此外, 其可在特定條件下根據(jù)需 要改變某些材料表面的性能。
產(chǎn)品型號 | PCE-6V 小型等離子清洗機 |
主要特點 | 1、采用氣體作為清洗介質(zhì),避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。 |
2 、可短時間內(nèi)清洗掉有機污染物。 3 、清洗程度可達到分子級。 4 、可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。 5、清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性、相容性和浸潤性,并可消 毒和殺菌。 6 、樣品臺可選配加熱功能,可加負偏壓,用以實現(xiàn)離子蝕刻。 | |
7、廣泛應(yīng)用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫(yī)學、 微觀流體學等領(lǐng)域。 | |
技術(shù)參數(shù) | 1 、電壓: AC220V 10A 2、消耗功率: <500W (包括真空泵) 3 、RF 電源: 輸出功率 100W ,輸出頻率 13.56MHz |
4、腔體: ?190mm×98mm 5、石英管: ?180mm×55mm ,壁厚 7mm | |
6、內(nèi)腔: ?165mm×55mm 7、清洗電極: ?120mm 8、樣品臺: ?150mm ,有效尺寸 ?140mm 9、樣品臺與電極間距: 15mm-50mm 可調(diào) 10、抽氣管: ?12mm | |
11、極限真空度: 0.1Pa 12、工作真空度: 60Pa-500Pa 13、氣路數(shù)量: 2 路(選裝) 14、流量控制器數(shù)量: 1 、2 15、流量顯示儀: 2 通道 | |
16、氣路接口: ?6mm 17、加熱樣品臺: ?140mm ,加熱樣品溫度 RT-600℃±1℃(選裝) 18、冷卻水壓力: 0.2KPa-0.4KPa 19、工作環(huán)境: 溫度 5℃-35℃,濕度<80% (相對濕度)不結(jié)露, 海拔高度 0-2000m | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸: 245mm×235mm×460mm (不含真空泵),重量: 20kg (不含真空泵) |
可選配置 | 1、加熱樣品臺 2、流量控制器(量程 10 、50 、100 ,最多可增加 2 個通道) |
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