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描述:產(chǎn)品簡介:PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為?160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)
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2024-03-12訪問量
237產(chǎn)品簡介: PCE-6 小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為 ?160mm×190mm 的石英腔體, 采用的射頻電源功率 3.0MHz( 1%),輸出功率 7.2W 、10.2W 、29.6W 三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等 離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(zhì) (如親水和疏水性等),對于基片的 清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。
產(chǎn)品型號 | PCE-6 小型等離子清洗機(jī) |
主要特點 | 1、通過控制面板的按鍵及開關(guān),可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間。 |
2 、時間、功率、 真空度等信息顯示在一組 4 位數(shù)碼管上。 3 、設(shè)有一個三通閥, 可精確控制進(jìn)氣流量, 以及大氣流清洗腔體,進(jìn)氣接口為 6mm 卡套 接口。 4、選用大功率射頻電源設(shè)備可進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化實驗。 | |
技術(shù)參數(shù) | 1 、電源: AC220V 50/60Hz 2、輸出功率: 7.2W 、10.2W 、29.6W 3、真空泵功率: <500W |
4、總功率: <600W 5、射頻頻率: 3.0MHz ,功率 3 檔可手動調(diào)節(jié) | |
6 、等離子腔體: 高純石英腔體, ?160mm×190mm,采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行密封,法蘭 上設(shè)有 ?45mm 的觀察窗 7、真空泵: 240L/min,直連式雙旋真空泵 8、極限真空度: 50mtorr 9 、通入氣體: 可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子, 如 N2 、Ar 、H2 、O2 、Air 和混合氣體等(根 據(jù)材料性質(zhì)選定) | |
清洗及蝕刻 |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸: 400mm×300mm×300mm,重量: 10.2kg |
可選配件 | 1 、2"-6"石英舟(盛放基片) |
2 、2-4 通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng) |
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