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型號(hào):

帶滑動(dòng)法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV

描述:產(chǎn)品簡(jiǎn)介:帶滑動(dòng)法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV可以快速加熱至1200℃,并通過(guò)調(diào)整三個(gè)溫區(qū)而建立不同梯度的熱場(chǎng),可進(jìn)行退火、擴(kuò)散、在不同氣氛中燒結(jié)樣品及CVD等實(shí)驗(yàn)

  • 廠(chǎng)商性質(zhì)

    經(jīng)銷(xiāo)商
  • 更新時(shí)間

    2024-03-12
  • 訪(fǎng)問(wèn)量

    113
詳細(xì)介紹

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介: 帶滑動(dòng)法蘭三溫區(qū) CVD 系統(tǒng) OTF-1200X-5-III-F3LV 可以快速加熱至 1200℃,并通過(guò)調(diào)整三個(gè) 溫區(qū)而建立不同梯度的熱場(chǎng),可進(jìn)行退火、擴(kuò)散、 在不同氣氛中燒結(jié)樣品及 CVD 等實(shí)驗(yàn)。


產(chǎn)品型號(hào)

帶滑動(dòng)法蘭三溫區(qū) CVD 系統(tǒng) OTF-1200X-5-III-F3LV

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25℃±15℃ ,濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。


1、水:不需要


2、電: AC220V 50Hz,必須有良好接地


3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體,需自備氣瓶氣源


4、工作臺(tái): 尺寸 1600mm×600mm×700mm ,承重 150kg 以上


5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1、雙層殼體,配有冷系統(tǒng), 爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料。


2 、內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層,可以提高反射率和保護(hù)爐膛潔凈度。


3、一端法蘭配有滑軌,便于樣品裝卸;另一端法蘭裝有數(shù)字真空計(jì)。


4 、采用三個(gè)獨(dú)立 PID 控制器 ,可以設(shè)置 30 段升降溫程序,設(shè)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能。


5 、已通過(guò) CE 認(rèn)證。




技術(shù)參數(shù)

1 、電源: 單相 AC 208V-240V    50Hz/60Hz    7KW 40A 保險(xiǎn)絲)


2、石英管: 外徑 ?125mm ,內(nèi)徑 120mm ,長(zhǎng) 1400mm,帶有一對(duì)真空密封法蘭


3、加熱元件: 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲


4、加熱區(qū)域: 溫區(qū) I 長(zhǎng) 229mm ,溫區(qū) II 長(zhǎng) 457mm ,溫區(qū) III 長(zhǎng) 229mm ,總長(zhǎng) 915mm


5、恒溫區(qū)域: 三個(gè)溫區(qū)為同一溫度時(shí)為 625mm ,溫區(qū) II  110mm


6 、工作溫度:  1200 ,連續(xù)工作 1100


7、升降溫速率: 20/min


8、控溫精度:± 1


9、熱電偶: K 


10、浮子流量計(jì): 3 個(gè), 量程 0-100ml/min 、0-160ml/min 、0-250ml/min

11、數(shù)字真空計(jì): 10-4torr

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸: 管式爐 1080mm×430mm×600mm;重量: 70kg


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